1990 合肥工業(yè)大學(xué)化學(xué)系 高分子專業(yè)學(xué)士學(xué)位

1995 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)  高分子化學(xué)碩士學(xué)位

2000 中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)  核技術(shù)及應(yīng)用博士學(xué)位

主要從事集成電路制造工藝技術(shù)研究，微細(xì)加工技術(shù)研究，MEMS 技術(shù)研究。從事新型 X 射線光刻膠及下一代光刻技術(shù)工藝的研究，碩士論文題目為《新型 X 射線光刻膠的研制》，博士論文題目為《利用同步輻射的微細(xì)加工技術(shù)》，在同步輻射（X 射線）光刻及微細(xì)加工領(lǐng)域作過多年應(yīng)用技術(shù)研究。

擔(dān)任國家自然基金委信息領(lǐng)域， 863 先進(jìn)制造領(lǐng)域主題評審專家，國家首批科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才入選者，享受國務(wù)院津貼。曾參與或者主持過二十多項國家自然基金、863 計劃、973 計劃、科技攻關(guān)、國家集成電路重大專項等課題等。2003 年獲得北京市科技進(jìn)步一等獎，2014 年獲得中科院杰出成就獎，現(xiàn)任中科院微電子研究所副所長兼任中科院物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心副主任。